[发明专利]一种长曲率半径凸面参考面标准具在审
| 申请号： | 201510968118.8 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105423951A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 苏东奇;曲艺;苗二龙;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种长曲率半径凸面参考面标准具涉及光学镜头设计领域，入射光依次通过：孔径光阑、扩束组分、泽尼克面形补偿组分，像差平衡组分和标准参考面；所述孔径光阑、扩束组分、泽尼克面形补偿组分，像差平衡组分和标准参考面同光轴分布；所述泽尼克面形补偿组分补偿光学设计的剩余球差；像差平衡组分平衡整个标准具的像差产生垂直参考面出射的波面；标准参考面以3.5％的反射率反射光束使其原路返回干涉仪内提供参考波面。本发明不同于现有商业化产品。长曲率半径凹面测量的使用要求，有效地缩短了测量空间，解决空间受限的问题，物理上易于实现。同时采用了易于加工的泽尼克面形补偿组分，进行像差补偿，大大降低了设计难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲率 半径 凸面 参考 标准 | ||
【主权项】：
一种长曲率半径凸面参考面标准具，其特征在于，入射光依次通过：孔径光阑、扩束组分、泽尼克面形补偿组分，像差平衡组分和标准参考面；所述孔径光阑、扩束组分、泽尼克面形补偿组分，像差平衡组分和标准参考面同光轴分布；所述泽尼克面形补偿组分补偿光学设计的剩余球差；像差平衡组分平衡整个标准具的像差产生垂直参考面出射的波面；标准参考面以3.5％的反射率反射光束使其原路返回干涉仪内提供参考波面。
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