[发明专利]一种气体浓度测量的方法和传感器

摘要

本发明实施例提供了一种气体浓度测量方法和传感器，所述气体浓度测量传感器包括：气室，用于传输待检测气体；输入直波导，用于将光源发出的光耦合进入环状波导；环状波导，用于将光耦合进入输出波导，所述环状波导的半径根据确定，其中，r是环状波导的半径，λ_res是对应待检测气体对光的吸收峰的环状波导的透射峰，n_eff是环状波导的有效折射率，L_ring是环状波导的长度，m为正整数；输出波导，用于将光耦合输出。本发明实施例提供的气体浓度测量传感器使用波导结构，大大减小了气体浓度测量传感器的体积，可以用在集成光学中。

主权项

一种气体浓度测量传感器，其特征在于，所述气体浓度测量传感器包括多个硅基器件，包括：气室，用于传输待检测的气体，所述气室覆盖气体浓度测量传感器中的每条波导，使待检测气体与波导外所述待检测气体吸收峰对应波长的光的消逝场相互作用；输入直波导，用于将光源发出的光耦合进入环状波导；环状波导，用于接收所述输入直波导耦合的光，并将光耦合进入输出波导，所述环状波导的半径根据确定，其中，r是环状波导的半径，λ_res是对应待检测气体对光的吸收峰的环状波导的透射峰，n_eff是环状波导的有效折射率，L_ring是环状波导的长度，m为正整数；输出波导，用于将光耦合输出。