[发明专利]利用分段式螺旋电极的多级离子引导器及有关系统和方法在审
| 申请号： | 201510968824.2 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105719936A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | P·T·威廉斯 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11484 | 代理人： | 刘彬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 离子引导器生成多级射频(RF)场，以随着离子发送通过离子引导器沿着引导器轴将离子封闭为离子射束。RF场的有效电势具有沿着引导器轴独立于轴向位置的引导器轴上的量值，并且不呈现轴上电势阱。离子引导器可以包括分割为横向间隔的分段的多个轴向间隔电极。可替代地，离子引导器可以包括相对于引导器轴缠绕的多个螺旋电极。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 段式 螺旋 电极 多级 离子 引导 有关 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种离子引导器，其包括：入口端；出口端，其在沿着引导器轴距入口端一距离处；以及多个引导器电极，其环绕引导器轴，并且配置为用于生成第2N方位角阶的射频(RF)场，其中，N是等于或大于2的整数，并且其中，RF场对于沿着引导器轴将离子径向封闭为离子射束是有效的，并且RF场具有带有沿着引导器轴独立于轴向位置的引导器轴上的量值的有效电势。
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