[发明专利]磁控溅射旋转阴极支撑端头

摘要

磁控溅射旋转阴极支撑端头，其外壳内有第一至第三孔、外侧有两个第一水孔和两个第一皮带孔；空心轴内有第四至第六孔；水道有连接板、第一至第三圆柱，第一圆柱内有进水和出水孔、进水和回水室；空心轴外套装屏蔽片、磁性密封件、皮带盘；第一孔内安置球轴承、限位片、承重片；空心轴与外壳套接且上部轴体与球轴承内圈套接，承重片外担内圈、内设在空心轴上端，进水、出水孔各和每孔同侧的第一水孔对应相通，穿经两个第一皮带孔的皮带穿到第二孔内接皮带盘，磁性密封件位于第三孔内；水道分别与空心轴、承重片内外套接，连接板接外壳上端，第三圆柱下部柱体与水封内外套接，第六孔与水封间呈密封状态。本端头结构设计合理，密封性能稳定。

主权项

磁控溅射旋转阴极支撑端头，它包括磁性密封件、水封，其特征在于：它还包括外壳、空心轴、水道、皮带、皮带盘、锁定销、屏蔽片、球轴承、环形的限位片和承重片；外壳的轴向第一内通孔自上而下依次由第一孔、第二孔、第三孔共轴线连通而成，第三孔的内径大于第一孔的内径，第一孔的内径大于第二孔的内径，使得第一孔、第二孔之间形成第一台阶，第二孔、第三孔之间形成第二台阶；外壳的外侧在位置上对应于第二孔处开有与第二孔相通的两个第一皮带孔，两个第一皮带孔位于轴向第一内通孔的轴线的左右两侧，两个第一皮带孔的轴线均与轴向第一内通孔的轴线相垂直；外壳的外侧在位置上对应于第一孔处开有与第一孔相通的两个第一水孔，两个第一水孔位于轴向第一内通孔的轴线的左右两侧，两个第一水孔的轴线均与轴向第一内通孔的轴线相垂直；空心轴的轴向第二内通孔自上而下依次由第四孔、第五孔、第六孔共轴线连通而成，第六孔的内径大于第四孔的内径，第四孔的内径大于第五孔的内径，使得第四孔、第五孔之间形成第三台阶，第五孔、第六孔之间形成第四台阶，空心轴的下端有外伸的圆台，空心轴的外壁中部靠近圆台处有第一环形槽，第一环形槽内套装第五密封圈；水道包括自上而下直径依次递减且共轴线连接的圆形连接板、第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱；第一圆柱的外侧为削平状的安装面，第一圆柱内有进水孔、进水室、出水孔、回水室，前两者与后两者相隔绝，进水孔和出水孔的外端位于安装面上，进水孔的内端与进水室相通，出水孔的内端与回水室相通；水道内的轴向中心区域开有依次贯穿第三圆柱、第二圆柱并与进水室相通的进水通道，水道内的轴向外缘处开有若干相互平行间隔的回水通道，每个回水通道均依次贯穿第三圆柱、第二圆柱并与回水室相通；第三圆柱的下端面外缘处设有与回水通道相间隔的挂接耳；空心轴的中部自下而上地依次同轴套装屏蔽片、磁性密封件、皮带盘，屏蔽片担置在空心轴的圆台上，圆台、屏蔽片、磁性密封件之间设有起连接作用的若干固定销，固定销的轴线与空心轴的轴线相平行，皮带盘固定在空心轴上，第五密封圈与磁性密封件紧密接触；外壳的第一孔内自下而上地依次同轴安置球轴承、限位片，球轴承的外圈担置在第一台阶上，限位片与球轴承的外圈贴靠接触；皮带经一侧的第一皮带孔穿入第二孔内并经另一侧的第一皮带孔穿出；所述装有屏蔽片、磁性密封件、皮带盘的空心轴与外壳内外同轴套接；磁性密封件位于第三孔内，外壳的第三孔与磁性密封件之间呈紧密接触的密封状态，锁定销贯穿外壳在第三孔处的壳壁与磁性密封件相接；皮带盘位于第二孔内且与两个第一皮带孔在位置上相对应，皮带与皮带盘相接；空心轴位于第一孔内的上部轴体与球轴承的内圈同轴套接，承重片同轴置于外壳的第一孔内，承重片的外缘担置在球轴承的内圈上，承重片的内缘担置并固定在空心轴的上端面上；水道分别与空心轴、承重片内外同轴套接；连接板担置并固定在外壳的上端面上；第一圆柱位于第一孔内且其下端面分别与承重片、限位片接触，进水孔和其同侧的第一水孔对应相通，出水孔和其同侧的另一第一水孔对应相通；第二圆柱位于承重片、第四孔内；挂接耳、第三圆柱贯穿第五孔、第六孔后，第三圆柱的下端面超出空心轴的圆台一定距离；第三圆柱介于其下端面和第四台阶之间的下部柱体与水封内外同轴套接，水封与空心轴的第六孔之间呈紧密接触的密封状态。