[发明专利]一种有机混合薄膜宽光谱有机-无机光敏二极管

摘要

本发明公开了一种有机混合薄膜宽光谱有机‑无机光敏二极管的设计与制备方法。其特征在于它由背面(非抛光面)制备有金属背电极薄膜的掺杂硅(兼做衬底)、有机混合薄膜和透明顶电极薄膜组成，从上至下，其顺序依次是背电极薄膜、掺杂硅、有机混合薄膜和透明顶电极薄膜。有机混合薄膜由两种以上光吸收光谱范围互补的有机光敏材料组成。

主权项

1.一种有机混合薄膜宽光谱有机‑无机光敏二极管，其特征在于它由非抛光面的背面制备有金属背电极薄膜兼作衬底的掺杂硅、有机混合薄膜和透明顶电极薄膜组成，从下至上，其顺序依次是背电极薄膜、掺杂硅、有机混合薄膜和透明顶电极薄膜；有机混合薄膜宽光谱有机‑无机光敏二极管具体制备过程如下：a)用标准工艺清洗掺杂硅；b)在掺杂硅背面用真空热蒸发方法制铝电极；c)用真空蒸发方法在掺杂硅抛光面上制备三组份有机混合薄膜PTCDA:CuPc:PbPc作为光吸收层；d)用真空蒸发、掩膜蒸镀的方法在光敏层上制备叉指金薄膜作为顶电极，电极面积可通过掩膜板的图形限定；e)将制作的器件封装。