[发明专利]一种可电致变色的多层透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及薄膜及其制备方法，提供一种可电致变色的多层透明导电薄膜及其制备方法，所述多层透明导电薄膜包括从上往下依次设置的衬底、第一WO₃薄膜层，Ag导电层，W缓冲层和第二WO₃薄膜层；其制备方法首先通过反应溅射法在衬底上制备第一WO₃薄膜层；然后分别通过直流溅射和磁控溅射在第一WO₃薄膜层表面制备Ag导电层和W缓冲层；最后再通过反应溅射法在W膜层表面制备第二WO₃薄膜层，本发明经过优化多层透明导电薄膜结构及制备工艺，采用溅射法制备得可电致变色的多层透明导电薄膜，且该薄膜具备可见光范围内的高透过率，高电导率，以及具有可见光透射率调节范围大、着色效率高、循环稳定性好和环境友好等优点。

主权项

1.一种可电致变色的多层透明导电薄膜，包括从下往上依次设置的衬底、第一WO3薄膜层、Ag导电层、W缓冲层和第二WO3薄膜层，第一WO3薄膜层、Ag导电层、W缓冲层和第二WO3薄膜层的厚度分别为45nm、10～12nm、2～3nm和45nm，衬底采用标准电子白玻璃；所述可电致变色的多层透明导电薄膜的制备方法包括以下步骤：1)制备第一WO3薄膜层：将真空室抽真空至5.0×10‑4Pa，随后通入氩气，调节氩气气压为1.0Pa，之后打开射频电源开关，靶材起辉后通入氧气，调节氩气与氧气流量为40:60sccm，使真空室内气压固定为4.0×10‑1Pa，调节溅射功率为200W，之后对W靶材进行预溅射清洗10分钟，随后将衬底平台转至靶材正上方，调节溅射时间为18分钟，在玻璃衬底上沉积WO3薄膜；2)制备Ag导电层：调节氩气流量为60sccm，使真空室内气压固定为3.4×10‑1Pa，之后打开直流电源开关，靶材起辉后，调节溅射功率为10W，之后对Ag靶材进行预溅射清洗5分钟，随后将衬底平台转至靶材正上方，调节溅射时间为36秒，在第一WO3薄膜层上沉积Ag薄膜；3)制备W缓冲层：调节氩气气压为1.0Pa，之后打开射频电源开关，靶材起辉后，调节氩气流量为80sccm，使真空室内气压固定为4.7×10‑1Pa，调节溅射功率为200W，之后对W靶材进行预溅射清洗5分钟，随后将衬底平台转至靶材正上方，调节溅射时间8秒，在Ag导电层上沉积W薄膜；4)制备第二WO3薄膜层：调节氩气气压为1.0Pa，之后打开射频电源开关，靶材起辉后通入氧气，调节氩气与氧气流量40:60sccm，使真空室内气压固定为4.0×10‑1Pa，调节溅射功率为200W，随后将衬底平台转至靶材正上方，调节溅射时间为18分钟，在W缓冲层上沉积WO3薄膜。