[发明专利]MIM环形刻槽结构传感器在审
| 申请号： | 201510977194.5 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105547337A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 周永金;肖前循 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MIM环形刻槽结构传感器，包括介质基板及其上面MIM环形光栅结构，MIM环形光栅结构由内封闭金属光栅结构、外封闭金属光栅结构和环形绝缘体组成，内封闭金属光栅结构、外封闭金属光栅结构金属光栅结构上刻蚀有一个1个以上沿圆周方向均匀分布的凹槽。MIM环形刻槽结构传感器的介质板背面设有微带线。微带线由一条短金属贴片和金属贴片末端的圆盘枝节结构组合而成。本发明在较宽频带内容易产生多个谐振模式，它周围介质参数的变化非常敏感，能够实现宽带高灵敏度的传感。 | ||
| 搜索关键词： | mim 环形 结构 传感器 | ||
【主权项】：
一种MIM环形刻槽结构传感器，其特征在于：包括介质板（12）及其上面MIM环形光栅结构（1），所述MIM环形光栅结构（1）由内封闭金属光栅结构、外封闭金属光栅结构和绝缘体介质（7）组成，所述外封闭金属光栅结构与内封闭金属光栅结构之间形成环形结构；所述绝缘体介质（7）填充在所述环形结构中；所述内封闭金属光栅结构、外封闭金属光栅结构金属光栅结构上刻蚀有一个1个以上沿圆周方向均匀分布的凹槽。
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