[发明专利]一种蓝宝石晶体生长炉及制备蓝宝石晶体的方法

摘要

本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉及制备蓝宝石晶体的方法，包括炉体、真空机组及发热体，真空机组与炉体内部连通，发热体设置在炉体内，炉体内还设有隔热屏、温区分隔板、温度传感器、料盘及传动机构，本发明通过温区分隔板将隔热屏围成的空间分割成多个相对独立的温区，每个温区独立加热、独立测温、独立控制，通过不同温区的温度控制实现炉膛在水平或竖直方向上呈现一定的温度梯度，通过移动坩埚，或在坩埚、发热体、晶体都不动的情况下控制不同温区的温度实现温场的温度梯度不断移动，从而满足晶体长晶界面温度梯度的需要并实现晶体不断生长，可以制备大尺寸板状单晶，且晶体生长周期短、成品率高、生产成本低。

主权项

 一种蓝宝石晶体生长炉，包括炉体（2）、真空机组（4）及发热体（8），真空机组（4）与炉体（2）内部连通，发热体（8）设置在炉体（2）内，其特征在于：炉体（2）内还设有隔热屏（7）、温区分隔板（9）、温度传感器（10）、料盘（12）及传动机构（14），所述隔热屏（7）围成内部可设置坩埚（11）的空间，料盘（12）设置在坩埚（11）的底部，隔热屏（7）的一端设有可供坩埚（11）穿过的通孔，与隔热屏（7）开孔端对应一侧的炉体（2）上开设有炉门（1），所述发热体（8）有多根且呈长条状，其端部均固定设置在隔热屏（7）上，且平行、均匀分布在坩埚（11）的两侧，所述温区分隔板（9）有多个且分隔设置在发热体（8）之间，将隔热屏（7）围成的空间沿竖直或水平方向分割成多个独立的温区，每个温区均设有温度传感器（10），所述温度传感器（10）穿过隔热屏（7）设置在两层发热体（8）之间，每个温区独立加热、独立测温、独立控制，通过不同温区的温度控制实现在竖直或水平方向上呈现温度梯度变化，所述传动机构（14）穿过炉体（2）与料盘（12）的一端连接。