[发明专利]基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统

摘要

本发明公开了一种基于PSD反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统，所述二维快速控制反射镜包括：底座，固定于所述底座上的PSD反馈光路结构、带压电陶瓷的活动支撑结构、及不带压电陶瓷的固定支撑结构，与活动支撑结构和固定支撑结构相连的支架，以及固定于支架上的反射镜。本发明集成了基于位置敏感探测器PSD的反馈光路结构，提高了反射镜角度偏转精度；三角形支撑结构既保证了二个维度上均可偏转的同时大幅提高了结构空间利用率，使整个反射镜的结构更紧凑合理。

主权项

1.一种基于PSD反馈的二维快速控制反射镜，其特征在于，所述二维快速控制反射镜包括：底座，固定于所述底座上的PSD反馈光路结构、带压电陶瓷的活动支撑结构、及不带压电陶瓷的固定支撑结构，与活动支撑结构和固定支撑结构相连的支架，以及固定于支架上的反射镜；所述底座上设有第一支撑架和第二支撑架，氦氖激光器固定安装于第一支撑架上，半透半反镜固定安装于第二支撑架上，PSD固定安装于第二支撑架内部；所述第二支撑架的顶部朝向第一支撑架倾斜设置，所述半透半反镜倾斜安装于所述第二支撑架的顶部；所述活动支撑结构为两个，分别包括二维柔性铰链、椭圆形位移放大机构、以及位于嵌入在椭圆形位移放大机构内的压电陶瓷；两个活动支撑结构和固定支撑机构呈“品”字形固定在底座上。