[发明专利]高精度恒温控制装置及方法

摘要

本发明高精度恒温控制装置及方法，属于恒温控制领域，解决了现有技术在对超高精度光学元件检测和光学系统检测时，干涉腔内温度变化导致的检测误差的技术问题本发明包括气源模块、换热模块、储气模块和控制模块；气源模块通过管道与换热模块联通，换热模块通过管道与储气模块300联通，控制模块通过管道分与换热模块联通；本发明满足了超高精度光学测量对温度稳定性的要求；本发明中设有空气搅动装置，实现了空气的无规律搅动，很好地抑制了气流扰动对高精度光学测量的影响。

主权项

高精度恒温控制装置，其特征在于，包括气源模块(100)、换热模块(200)、储气模块(300)和控制模块(400)；气源模块(100)通过管道与换热模块(200)联通，换热模块(200)通过管道与储气模块(300)联通，控制模块(400)通过管道与换热模块(200)联通；所述换热模块(200)包括初级换热器(201)、温度计Ⅰ(204)、二级换热器(202)、温度计Ⅱ(205)、恒温水浴装置(203)；初级换热器(201)与二级换热器(202)的结构相同，所述初级换热器(201)包括换热器罐体(201‑1)、铜管(201‑2)、进气口(201‑6)、出气口(201‑5)、进水口(201‑3)和出水口(201‑4)；铜管(201‑2)盘绕在换热器罐体(201‑1)内部，换热器罐体(201‑1)上分别设有进水口(201‑3)和出水口(201‑4)，进气口(201‑6)与铜管一端联通，出气口(201‑5)与铜管的另一端联通；恒温水浴装置(203)上设有进水阀(206)和出水阀(207)；初级换热器(201)上设有温度计Ⅰ(204)，二级换热器(202)上设有温度计Ⅱ(205)；气源模块(100)通过管道Ⅰ(5)与初级换热器的进气口联通，初级换热器的出气口通过管道Ⅱ(6)与储气模块(300)联通，初级换热器(201)的进水口通过管道与二级换热器(202)的出水口联通，初级换热器(201)的出水口通过管道与恒温水浴装置(203)的进水口联通，二级换热器(202)的进水口通过管道与恒温水浴装置(203)的出水口联通，二级换热器的进气口通过管道Ⅲ(7)与储气模块(300)联通，二级换热器的出气口通过管道Ⅳ(8)与控制模块(4)相联通。