[发明专利]气浮导轨的表面处理方法有效
| 申请号： | 201510980775.4 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106906479B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘向东 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的气浮导轨的表面处理方法，包括将气浮导轨置于等离子体反应腔；调节所述等离子体反应腔内的压强至第一值；向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气；控制所述等离子体反应腔的阳极射频频率为50～100KHz，阴极射频频率为20～30MHz，以实现第一次辉光放电。本发明能高效清洗气浮导轨表面的有机残留物，从而保证表面光滑洁净，降低摩擦力，以提高工作稳定性及精密度并延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 导轨 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气浮导轨的表面处理方法，包括：将气浮导轨置于等离子体反应腔；调节所述等离子体反应腔内的压强至第一值；向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气；控制所述等离子体反应腔的阳极射频频率为50～100KHz，阴极射频频率为20～30MHz，以实现第一次辉光放电；其特征在于，还包括第二次辉光放电，具体包括：调节所述等离子体反应腔内的压强至第二值，所述第二值大于所述第一值；向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气，所述氧气及所述氩气的流量均小于所述第一次辉光放电时的流量；控制所述等离子体反应腔的阳极射频频率为10～15MHz，阴极射频频率为2～5GHz。
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