[发明专利]一种测量空心阴极节流孔区等离子体密度的方法在审
| 申请号： | 201510981045.6 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105578696A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 宁中喜;张海广;安秉健;王亚楠;刘晨光;于达仁 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张宏威 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种测量空心阴极节流孔区等离子体密度的方法，涉及空心阴极领域。解决了传统空心阴极孔区等离子测量方法受空心阴极孔区尺寸影响导致测量精度低的问题。本发明所述的一种测量空心阴极节流孔区等离子体密度的方法包括以下步骤：步骤一、根据流体理论获得等离子体密度与阴极气压之间的关系；步骤二、让阴极正常工作，测量空心阴极工作参数，根据步骤一获得的等离子体密度与阴极气压之间的关系获得孔区等离子体密度。该方法计算过程非常简单，不受空心阴极孔区尺寸影响，利用间接手段测量了不能直接得到的参数，同时还保证了非常高的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 空心 阴极 节流 等离子体 密度 方法 | ||
【主权项】：
一种测量空心阴极节流孔区等离子体密度的方法，其特征在于，它包括以下步骤：步骤一、根据流体理论获得等离子体密度与阴极气压之间的关系；步骤二、让阴极正常工作，测量空心阴极工作参数，根据步骤一获得的等离子体密度与阴极气压之间的关系获得孔区等离子体密度。
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