[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

摘要

本发明提供用于以较高的输送可靠性一并输送多张基板的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置包括：基座；保持部；至少3个检测部；以及控制部。保持部以相对于基座进退自如的方式设置且能够多层地保持多张基板。检测部用于分别在不同的位置对由保持部保持着的基板的外缘进行检测。控制部根据检测部的检测结果来推断基板的位置，并对推断出的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，在判断为计算出的偏离量在阈值以内的情况下，执行由保持部保持着的多张基板的输送。

主权项

1.一种基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置包括：基座；保持部，其以相对于所述基座进退自如的方式设置且能够多层地保持多张基板；检测部，其至少设有3个，所述检测部用于分别在不同的位置对由所述保持部保持着的所述基板的外缘进行检测；以及控制部，其根据所述检测部的检测结果来推断所述基板的位置，并对推断出的所述基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，在判断为计算出的所述偏离量在阈值以内的情况下，执行由所述保持部保持着的多张所述基板的输送，其中，所述基板输送装置还包括暂时载置部，该暂时载置部能够收纳由所述保持部保持着的多张所述基板，在所述偏离量超过所述阈值的情况下，所述控制部使由所述保持部保持着的多张所述基板中的1张基板保持在所述保持部上并使余下的基板收纳于所述暂时载置部，之后，使用所述检测部对由所述保持部保持着的所述1张基板的外缘再次进行检测，所述控制部根据所述检测部的检测结果对所述1张基板的自所述基准位置偏离的偏离量进行计算，并根据计算出的偏离量改变所述保持部的位置，从而使所述1张基板的位置与所述基准位置相一致。