[发明专利]一种薄膜材料极紫外辐射损伤实验平台在审
| 申请号： | 201510982452.9 | 申请日： | 2015-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN105388102A | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李文斌;王占山;王新;原晓峰;徐海钊;穆宝忠 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜材料极紫外辐射损伤实验平台，包括依次连接的控制单元、Nd:YAG激光器(1)、光路单元、真空腔单元和极紫外CCD探测器(11)，所述极紫外CCD探测器(11)与控制单元连接，所述真空腔单元包括真空腔和依次设置在真空腔内的聚焦透镜(6)、靶材(7)、第一锆片(12)、Schwarzschild物镜(13)和用于放置待测光学薄膜样品的三维位移样品台(14)，所述极紫外CCD探测器(11)伸入真空腔内并对准靶材(7)。与现有技术相比，本发明具有测量准确可靠、便于安装调试等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 紫外 辐射损伤 实验 平台 | ||
【主权项】：
一种薄膜材料极紫外辐射损伤实验平台，其特征在于，包括依次连接的控制单元、Nd:YAG激光器(1)、光路单元、真空腔单元和极紫外CCD探测器(11)，所述极紫外CCD探测器(11)与控制单元连接，所述真空腔单元包括真空腔和依次设置在真空腔内的聚焦透镜(6)、靶材(7)、第一锆片(12)、Schwarzschild物镜(13)和用于放置待测光学薄膜样品的三维位移样品台(14)，所述极紫外CCD探测器(11)伸入真空腔内并对准靶材(7)；进行薄膜材料极紫外辐射损伤实验时，控制单元控制Nd:YAG激光器(1)发出脉冲激光，该脉冲激光经光路单元后进入真空腔内，经聚焦透镜(6)后聚集在靶材(7)并产生激光等离子体光源，该激光等离子体光源发射的光波经过第一锆片(12)后再经Schwarzschild物镜(13)聚焦到待测光学薄膜样品表面产生极紫外辐射损伤，极紫外CCD探测器(11)采集靶材(7)表面的图像传输给控制单元。
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