[发明专利]一种石墨加热炉内石墨热场表面制备SiC涂层的方法有效

专利信息
申请号: 201510986407.0 申请日: 2015-12-25
公开(公告)号: CN105503265B 公开(公告)日: 2017-11-03
发明(设计)人: 陈照峰;汪洋 申请(专利权)人: 苏州宏久航空防热材料科技有限公司
主分类号: C04B41/85 分类号: C04B41/85
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种石墨加热炉内石墨热场表面制备SiC涂层的方法,包括(1)将炉内气压抽至1~10‑2Pa,然后将石墨加热炉内温度提升至100~150℃;(2)维持炉内气压不变,将溶度为30‑50%硅溶胶溶液从炉内顶部吸入真空炉内,溶液吸入的流量为100~1000ml/min,时间为1~5min;(3)在100‑150℃保温1h后将石墨加热炉内温度提升至200‑400℃,升温速率为3~6℃每分钟,保温1~2小时;(4)将石墨加热炉内温度升高至1450~1600℃,升温速率为4~8℃每分钟,保温2~6小时,停止保温,冷却后,加热炉内碳素材料表面具有碳化硅涂层。本发明工艺过程相对简单,易操作,重复性好,直接在碳素材料表面原位反应生成结合力强的涂层。
搜索关键词: 一种 石墨 加热炉 表面 制备 sic 涂层 方法
【主权项】:
一种石墨加热炉内石墨热场表面制备SiC涂层的方法,其特征在于包括下述顺序的步骤:(1)密闭加热炉,将炉内气压抽至1~10‑2Pa,然后将石墨加热炉内温度提升至100~150℃;(2)继续抽真空,维持炉内气压不变,将浓度为30‑50%硅溶胶溶液从炉内顶部吸入真空炉内,溶液吸入的流量根据炉体尺寸调节,流量为100~1000ml/min,时间为1~5min;(3)在100‑150℃保温1h后将石墨加热炉内温度提升至200‑400℃,升温速率为3~6℃每分钟,保温1~2小时;(4)将石墨加热炉内温度升高至1450~1600℃,升温速率为4~8℃每分钟,保温2~6小时,停止保温,冷却后,加热炉内碳素材料表面具有碳化硅涂层。
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