[发明专利]一种液位沉降法镀膜的装置

摘要

本发明提供了一种液位沉降法镀膜的装置，包括镀膜腔体，安装在镀膜腔体内的夹持工装，储液槽，将液体在镀膜腔体和储液槽之间输送的输液泵以及控制单元，所述镀膜腔体设有侧开的工件进出口以及密封所述工件进出口的密封盖；本发明的液位沉降法镀膜的装置，通过设置侧开的工件进出口解决了层高限制时超长工件的装载问题，并且整体结构简单，工件安装方便，节省安装空间。

主权项

1.一种液位沉降法镀膜的装置，包括镀膜腔体，安装在镀膜腔体内的夹持工装，储液槽，将液体在镀膜腔体和储液槽之间输送的输液泵以及控制单元，其特征在于，所述镀膜腔体设有侧开的工件进出口以及密封所述工件进出口的密封盖；所述镀膜腔体内设有将其分隔成上腔体和下腔体的均液隔板，所述均液隔板上设有多个过液孔，所述镀膜腔体与输液泵连接的进出液口位于下腔体；所述均液隔板在垂直方向上间隔布置有多块，多块均液隔板自上而下过液孔的孔径逐渐增大、孔数逐渐减少，各块均液隔板的过液孔总面积近似。