[发明专利]一种固体润滑多层复合膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201510989894.6 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN105568215B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 韦春贝;代明江;侯惠君;林松盛;李琪;石倩;胡芳;赵利;曾威 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/35;C23C28/00 |
| 代理公司： | 广东世纪专利事务所有限公司 44216 | 代理人： | 千知化 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固体润滑多层复合膜及其制备方法。固体润滑多层复合膜依次由基体（1）、金属底层Me（2）、CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）和MoS2‑Me层（5）构成。其制备方法：采用磁控溅射方法，首先在基体（1）上沉积金属底层（2），然后依次沉积CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）和MoS2‑Me层（5），交替沉积形成多层结构，最外层为MoS2‑Me层（5）。本发明的多层结构的固体润滑复合膜具有结合强度高、摩擦系数低的性能特点，摩擦系数低至0.06，具有优良的自润滑、抗咬合性能和耐磨寿命，可应用在轴承、齿轮、叶片、工模具等部件上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固体 润滑 多层 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种固体润滑多层复合膜，其特征是依次由基体（1）、金属底层Me（2）、CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）、MoS2‑Me层（5）和外层构成，外层依次由金属过渡层Me（4）、CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）和MoS2‑Me层（5）层交替多次沉积构成多层结构，该多层结构中的最外层为MoS2‑Me层（5）；所述的Me为Ti、Cr或W。
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