[发明专利]光学位置测量装置

摘要

一种检测两个可相对彼此运动的物体的相对位置的光学位置测量装置，由与一个物体相连的扫描单元和另一个相连的反射量具组成，相对位置信息由至少两对分射束的干涉叠加得出。从光源射入的射束在扫描单元中由第一分解元件在第一分解平面内分解成多个分射束。一部分经由扫描单元中的转向元件转到反射量具的方向上，其他经由第二分解元件分解成其他分射束。在反射量具的两个入射点上，至少两对分射束干涉性叠加。第一和第二探测器检测第一和第二扫描信号，从中导出物体的关于垂直移动方向和第一横向移动方向的位置信息。

主权项

1.一种光学位置测量装置，用于检测两个能相对彼此运动的物体的相对位置，所述光学位置测量装置由反射量具和扫描单元组成，所述反射量具与两个物体中的第一物体相连；和所述扫描单元与这两个物体中的另一个物体相连，所述扫描单元构造用于由至少两对分射束的干涉叠加提供相对位置信息，所述扫描单元包括布置在所述扫描单元中的光源、第一分解元件和第二分解元件、转向元件和第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器，从而从光源射入的射束经由第一分解元件在第一分解平面内分解成至少一个第一分射束、第二分射束和第三分射束，并且所述第一分射束和所述第三分射束经由转向元件转向到所述反射量具的方向上，而所述第二分射束经由第二分解元件分解成至少一个第四分射束和第五分射束，所述第一分射束和所述第四分射束在所述反射量具上的第一入射点的方向上作为叠加的第一分射束对传播，并且所述第三分射束和所述第五分射束在所述反射量具上的第二入射点的方向上作为叠加的第二分射束对传播，并且，叠加的所述第一分射束对和所述第二分射束对在于反射量具处反射之后在所述第一探测器和所述第二探测器的方向上传播，在此，每个分射束对的分射束进行干涉叠加，从而经由探测器能够检测与移动相关的第一扫描信号和第二扫描信号，从第一扫描信号和第二扫描信号能够推导出物体的关于垂直移动方向和第一横向移动方向的位置信息，其中，所述第一横向移动方向在所述第一分解平面中或者与所述第一分解平面平行地延伸，其特征在于，在所述扫描单元中，射入的所述射束经由所述第一分解元件还在垂直于所述第一分解平面的第二分解平面中分解成另外的分射束，其中，所述扫描单元包括其他转向元件，并且其中，所述第一分解元件还构造用于在所述第二分解平面中将射束分解成至少一个第六分射束、第七分射束和第八分射束，从而所述第六分射束和所述第八分射束经由所述其他转向元件转向到所述反射量具的方向上，而所述第七分射束经由所述第二分解元件分解成至少一个第九分射束和第十分射束，其中，所述第六分射束和所述第九分射束在所述反射量具上的第三入射点的方向上作为叠加的第三分射束对来传播，并且所述第八分射束和所述第十分射束在所述反射量具上的第四入射点的方向上作为叠加的第四分射束对来传播，并且，叠加的所述第三分射束对和所述第四分射束对在于所述反射量具处反射之后在所述第三探测器和所述第四探测器的方向上传播，在此，所述第三分射束对和所述第四分射束对中的每个分别进行干涉性叠加，从而经由所述第三探测器和所述第四探测器能够检测与移动相关的第三扫描信号和第四扫描信号，从所述第三扫描信号和所述第四扫描信号能够推导出所述物体的关于所述垂直移动方向和第二横向移动方向的位置信息，其中，所述第二横向移动方向在所述第二分解平面中或者与所述第二分解平面平行地延伸。