[发明专利]显影液成分浓度测定方法及装置、显影液管理方法及装置在审
| 申请号： | 201510993997.X | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN106371296A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元 | 申请（专利权）人： | 株式会社平间理化研究所 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G01N9/36 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 朴英淑 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种显影液的成分浓度测定方法及装置、显影液管理方法及装置，根据显影液的特性值，高精度地计算呈碱性的显影液的碱性成分、所溶解的光致抗蚀剂、所吸收的二氧化碳等各成分的浓度，将显影液的显影性能维持并管理成最佳状态。通过测定部测定与显影液成分浓度相关的显影液的多个特性值。向运算部发送所测定的多个特性值，通过多变量分析法计算出显影液的成分浓度。进一步，通过控制部进行控制，向显影液补给显影液原液、新液或纯水等补充液，使得所测定的特性值或所计算的碱性成分浓度均成为给定的管理值、所测定的特性值或所计算的光致抗蚀剂的浓度均进入给定的管理范围内且所测定的特性值或所计算的二氧化碳的浓度进入给定的管理范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 成分 浓度 测定 方法 装置 管理 | ||
【主权项】：
一种显影液的成分浓度测定方法，包括：对与显影液的成分浓度相关的上述显影液的多个特性值进行测定的步骤，其中，反复使用上述显影液，且该显影液呈碱性；以及基于所测定的多个上述特性值，通过多变量分析法，计算上述显影液的成分浓度的步骤。
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