[发明专利]一种电极结构及ICP刻蚀机有效
| 申请号： | 201510995350.0 | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN106920732B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 左涛涛;吴狄;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于ICP刻蚀机的电极结构，包括：电感线圈、电感线圈连接件、连接杆以及套筒；其中，电感线圈设置于绝缘窗上，绝缘窗设置于腔体盖上；连接杆两端分别连接电感线圈和电感线圈连接件；套筒为金属导体材料且接地连接，套筒的一端为端盖、另一端为开口，套筒的端盖上设置有穿孔，连接杆设置在穿孔中且与端盖相互隔离，套筒的开口朝向电感线圈设置，并将电感线圈封闭在套筒内。本发明将电感线圈连接件产生的电磁场屏蔽在套筒之外，避免了对电感线圈产生的均匀的电磁场的影响，保证了刻蚀的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 结构 icp 刻蚀 | ||
【主权项】：
1.一种用于ICP刻蚀机的电极结构，其特征在于，包括：电感线圈、电感线圈连接件、连接杆以及套筒；其中，电感线圈设置于绝缘窗上，绝缘窗设置于腔体盖上；连接杆两端分别连接电感线圈和电感线圈连接件；套筒为金属导体材料且接地连接，套筒的一端为端盖、另一端为开口，套筒的端盖上设置有穿孔，连接杆设置在穿孔中且与端盖相互隔离，套筒的开口朝向电感线圈设置，并将电感线圈封闭在套筒内，且电感线圈连接件设置于套筒之外。
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