[发明专利]柔性有机发光二极管显示装置及其制造方法

摘要

实施方式涉及提一种柔性有机发光二极管显示装置及其制造方法。第一无机层、第一有机层和第二无机层形成在OLED显示装置的像素区上。使用原子层沉积(ALD)来形成第一无机层的至少一部分，从而第一无机层完全地覆盖在OLED上生成的颗粒。实施方式还涉及一种OLED显示装置，所述OLED显示装置具有像素区，每个像素区包括OLED、跨过相邻的像素区之间的边界的堤岸层以及位于堤岸层和OLED的至少一部分上的第一无机层。第一无机层包括第一无机子层和第二无机子层。

主权项

1.一种形成有机发光二极管OLED显示装置的方法，所述方法包括以下步骤：在柔性基板的显示区域上形成多个像素区，所述多个像素区中的每一个包括OLED；使用原子层沉积ALD或等离子体增强化学气相沉积PECVD在所述多个像素区上形成第一无机层的至少一部分；形成第一有机层；使用PECVD形成第二无机层；在所述第二无机层上形成第二有机层；以及使用粘附层将阻挡膜附着到所述第二有机层上，所述粘附层位于所述第二有机层和所述阻挡膜之间，其中，所述第二有机层的模量值小于所述第一有机层的模量值。