[发明专利]一种洁净设备干燥置换系统在审

专利信息
申请号: 201511000754.8 申请日: 2015-12-29
公开(公告)号: CN105605886A 公开(公告)日: 2016-05-25
发明(设计)人: 陶弦;沈应中;汤清云;沈克成 申请(专利权)人: 江苏爱姆欧光电材料有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B21/06;F26B25/16
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 陈丽君
地址: 212132 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本阀门提出的一种洁净容器干燥置换系统,包括第一管道、第二管道、第三管道、待洁净干燥置换的容器、吸收罐和缓冲罐,各组件通过阀门和接头相连,第二管道的端设有气体置换容器,第三管道的末端连接有真空泵,吸收罐和缓冲罐通过进出气管A、B与第三管道连接,本阀门结构简单,设计合理,抽真空干燥后直接进行气体置换,实现了洁净容器的干燥置换过程的一体化操作,可以提高操作效率,避免操作过程二次污染,而且可以根据容器数量、形状按需进行干燥置换,节约能源和成本,简化操作流程,可选择性操作多,保护了环境。
搜索关键词: 一种 洁净 设备 干燥 置换 系统
【主权项】:
一种洁净容器干燥置换系统,其特征在于,包括第一管道、第二管道、第三管道、待洁净干燥置换的容器、吸收罐和缓冲罐,所述容器的数量至少为1个,容器通过接头与第四管道连接,容器处设有供热设备,所述第四管道上设有与容器对应的阀门a,所述第四管道与第一管道连接,所述第二管道的末端设有气体置换容器,第二管道上设有阀门b,所述气体置换容器内注入有待置换气体,所述第三管道的末端连接有真空泵,其中部设有阀门c和阀门d,第一管道、第二管道和第三管道通过三向管接头相连;所述吸收罐的上端设有2个进出气管A,所述2个进出气管A上设有阀门e和f,2个进出气管A与第三管道连通,并分别位于阀门c的两端,所述缓冲罐的上端设有2个进出气管B,所述2个进出气管B上设有阀门g和h,2个进出气管B与第三管道连通,并分别位于阀门d的两端。
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