[发明专利]一种基于亚波长金属V槽超强光束缚的表面等离子体波导有效
申请号: | 201511003478.0 | 申请日: | 2015-12-24 |
公开(公告)号: | CN105467517B | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 马云燕;马佑桥;艾华;束鑫 | 申请(专利权)人: | 徐州天骋智能科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/122 | 分类号: | G02B6/122 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏省徐州市高新技术产*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种基于亚波长金属V槽超强光束缚的表面等离子体波导主要包括:刻有V槽的金属(材料选取为银)衬底1,银衬底1上V槽两内壁镀有一层二氧化硅介质膜2,整个光波导被空气层3包围;V槽上宽度W,V槽尖端二氧化硅膜厚t,V槽角度α和θ。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 波长 金属 强光 束缚 表面 等离子体 波导 | ||
【主权项】:
一种基于亚波长金属V槽超强光束缚的表面等离子体波导主要包括:刻有V槽的金属(材料选取为银)衬底1,银衬底1上V槽两内壁镀有一层二氧化硅介质膜2,整个光波导被空气层3包围;V槽上宽度W,V槽尖端二氧化硅膜厚t,V槽角度α和θ。
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