[发明专利]一种基于金属层叠介质亚波长光栅的生物传感芯片在审
| 申请号： | 201511003479.5 | 申请日： | 2015-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN105651737A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 马云燕;马佑桥;艾华;束鑫 | 申请（专利权）人： | 江苏双仪光学器材有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基于金属层叠缓冲介质亚波长光栅的纳米生物传感芯片主要包括：1-亚波长金属(材料选取为金)光栅层，2-氟聚合物亚波长光栅缓冲层，3-BK-7玻璃衬底；4-氟聚合物成膜，5-材料金成膜，6-聚焦离子束刻蚀；所述亚波长金属(材料选取为金)光栅层(1)涂覆于氟聚合物亚波长光栅缓冲层(2)之上，亚波长金属(金)光栅层(1)和氟聚合物亚波长光栅缓冲层(2)共同沉积于BK-7玻璃衬底(3)之上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 层叠 介质 波长 光栅 生物 传感 芯片 | ||
【主权项】：
一种基于金属层叠缓冲介质亚波长光栅的纳米生物传感芯片主要包括：1‑亚波长金属(材料选取为金)光栅层，2‑氟聚合物亚波长光栅缓冲层，3‑BK‑7玻璃衬底；4‑氟聚合物成膜，5‑材料金成膜，6‑聚焦离子束刻蚀；所述亚波长金属(材料选取为金)光栅层(1)涂覆于氟聚合物亚波长光栅缓冲层(2)之上，亚波长金属(金)光栅层(1)和氟聚合物亚波长光栅缓冲层(2)共同沉积于BK‑7玻璃衬底(3)之上。
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