[发明专利]MEMS器件、MEMS温度传感器及各自的制作方法

摘要

一种改进现有MEMS器件悬臂梁可靠性的MEMS器件及其制作方法，以及改进现有MEMS温度传感器工艺及结构的MEMS温度传感器及其制作方法。其中，对于MEMS器件，在悬臂梁的可动部与固定部的连接处增加折形结构，对该连接处进行加强，避免其折断。对于MEMS温度传感器，在悬臂梁可动部下表面或上表面设置与其热膨胀系数不同的应变片，使得测量过程中，悬臂梁可动部由于热膨胀系数与应变片不同而发生翘曲形变，悬臂梁可动部与固定电极之间电容发生变化，从而对温度进行探测。

主权项

1.一种MEMS器件的制作方法，其特征在于，包括：提供基底，所述基底具有分别适于与固定电极、悬臂梁连接的目标电连接区域；在所述基底表面形成第一材料层，所述第一材料层的部分区域用于形成固定电极，用于形成固定电极的该部分区域的第一材料层覆盖所述基底表面适于与固定电极连接的目标电连接区域；在所述第一材料层的上表面形成牺牲层；对所述牺牲层以及第一材料层进行图形化，以至少暴露出所述基底表面适于与悬臂梁连接的目标电连接区域；在所述牺牲层上表面、牺牲层与第一材料层侧壁表面以及暴露出的基底上表面形成第二材料层；对所述第二材料层进行图形化以形成折形结构，所述折形结构包括位于所述牺牲层上表面的水平部分以及位于所述第一材料层与牺牲层侧壁表面的竖直部分，所述水平部分暴露出部分区域的牺牲层上表面，所述竖直部分暴露出所述基底表面适于与悬臂梁连接的目标电连接区域；在所述暴露出的基底上表面、折形结构表面以及牺牲层上表面形成第三材料层，包覆所述折形结构竖直部分的第三材料层形成悬臂梁的固定部，所述固定部落于所述基底表面适于与悬臂梁连接的目标电连接区域；对包覆所述折形结构水平部分以及位于牺牲层上表面的第三材料层进行图形化，以形成悬臂梁的可动部；去除所述牺牲层，以释放悬臂梁的可动部。