[发明专利]消像散光谱仪

摘要

本发明公开一种消像散光谱仪，该消像散光谱仪包括：入射狭缝；准直元件，设置于所述入射狭缝之后，用于将所述入射狭缝出射的光线变为平行光；色散元件，接收所述准直元件出射的平行光，用于将所述平行光在空间上按波长分散成为多条光束；聚焦元件，接收所述色散元件出射的多条光束，用于聚焦色散后的光束；探测装置，放置于所述聚焦元件出射光线的焦平面，用于测量各波长的聚焦光斑的强度；消像散元件，设置于所述探测装置之前，用于校正各波长的像散，在所述焦平面上获得能量集中的聚焦光斑。因此，实施本发明能够校正像散，提高收集效率及灵敏度。

主权项

1.一种消像散光谱仪，其特征在于，包括：入射狭缝(10)；准直元件(20)，设置于所述入射狭缝(10)之后，用于将所述入射狭缝(10)出射的光线变为平行光；色散元件(30)，接收所述准直元件(20)出射的平行光，用于将所述平行光在空间上按波长分散成为多条光束；聚焦元件(40)，接收所述色散元件(30)出射的多条光束，用于聚焦色散后的光束；探测装置(50)，放置于所述聚焦元件(40)出射光线的焦平面，用于测量各波长的聚焦光斑的强度；消像散元件(60)，设置于所述探测装置(50)之前，用于校正各波长的像散，在所述焦平面上获得能量集中的聚焦光斑；所述消像散元件(60)为平凸柱面透镜；所述消像散元件(60)与所述焦平面成倾斜角度设置；所述消像散元件(60)的倾斜角度及曲率半径根据实际像散的大小及其随波长的变化关系设置；其中，所述消像散元件(60)的曲率半径范围为2～20mm；所述消像散元件(60)的倾斜角度的取值范围为0～15°。