[发明专利]一种基于扫描探针技术的定位系统及其使用方法在审
| 申请号： | 201511006140.0 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105467159A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 马瑞松;郇庆;鲍丽宏;高鸿钧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;李科 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于扫描探针技术的定位系统，包括：可以在第一扫描范围内三维自由移动的第一基体；安装在所述第一基体上的具有第一安装面的第一压电陶瓷装置，该第一安装面能够在第二扫描范围内相对于所述第一基体做三维自由移动；安装在所述第一安装面上的具有第二安装面的第二压电陶瓷装置，该第二安装面能够在第三扫描范围内相对于所述第一安装面做三维自由移动；以及固定在所述第二安装面上的探针；所述第二扫描范围的量级界于所述第一扫描范围和所述第三扫描范围之间，所述第一压电陶瓷装置的定位精度量级界于第一级定位机构和第二压电陶瓷装置的定位精度量级之间。本发明能够快速地定位所关注纳米结构；能够对纳米结构的移动进行跟踪。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 探针 技术 定位 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种基于扫描探针技术的定位系统，包括：可以在第一扫描范围内三维自由移动的第一基体；安装在所述第一基体上的第一压电陶瓷装置，该第一压电陶瓷装置连接电驱动模块并提供一个第一安装面，该第一安装面能够在电驱动模块的作用下，在第二扫描范围内相对于所述第一基体做三维自由移动；安装在所述第一安装面上的第二压电陶瓷装置，该第二压电陶瓷装置也连接电驱动模块并提供一个第二安装面，该第二安装面能够在电驱动模块的作用下，在第三扫描范围内相对于所述第一安装面做三维自由移动；以及固定在所述第二安装面上的探针；所述第二扫描范围的量级界于所述第一扫描范围和所述第三扫描范围之间，所述第一压电陶瓷装置的定位精度量级界于第一级定位机构和第二压电陶瓷装置的定位精度量级之间。
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