[发明专利]一种精密研磨用碳化硅粉体的划伤程度检测方法

摘要

本发明公开一种精密研磨用碳化硅粉体的划伤程度检测方法，包括以下步骤：步骤一、取四个研磨盘，置于精密研磨机中进行找平；步骤二、在每个研磨盘上加盖上盖板，然后在每个上盖板的上方对称放置两个重锤，开动精密研磨机空转，得到表面无划痕的研磨盘；步骤三、取碳化硅粉体，加入去离子水混合，转移至物料箱，搅拌，得到混合料浆；步骤四、向研磨盘中添加混合料浆，然后启动精密研磨机，步骤五、研磨结束后，取下研磨盘，用去离子水冲洗干净，根据检测标准进行划伤程度判断。本发明提供的精密研磨用碳化硅粉体的划伤程度检测方法将不可量化的划伤进行了量化判定，检测时间较短，既能保证检测精度，也能提高检测效率。

主权项

1.一种精密研磨用碳化硅粉体的划伤程度检测方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、取四个研磨盘，置于精密研磨机中进行找平，用水平仪测量四个研磨盘的平整度，调节研磨盘底部的调节旋钮使四个研磨盘处于同一水平面，控制平整度偏差在0.01mm以内；步骤二、研磨盘找平以后，在研磨盘上加盖上盖板，然后在上盖板的上方对称放置两个重量均为2kg的重锤，开动精密研磨机空转3min，控制研磨盘转速为60rpm，空转结束后，得到表面无划痕的研磨盘，备用；步骤三、取碳化硅粉体，加入去离子水混合，转移至物料箱，先在120‑180 rpm的转速下搅拌15‑20min，然后保持搅拌速度为60‑100 rpm，得到混合料浆，备用；步骤四、去掉研磨盘上的重锤，用流量调整泵将步骤三得到的混合料浆匀速送入物料分流器，物料分流器与上盖板内侧的投料口连通，从而将混合料浆加入到研磨盘中，然后启动精密研磨机，控制研磨盘转速为60rpm，研磨时间为3min；步骤五、研磨结束后，取下研磨盘，用去离子水冲洗干净，根据检测标准进行划伤程度判断，即完成精密研磨用碳化硅粉体的划伤程度检测。