[发明专利]等离子体织构化刀具及其制备方法在审
| 申请号： | 201511008148.0 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105543802A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 连云崧;陈汇丰;周伟;邓大祥;秦利锋 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/04;C23C14/06 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;陈德阳 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体织构化刀具及其制备方法，步骤为：(1)制备掩膜板：通过溅射法在玻璃基板的表面溅射淀积氮化铬层，在氮化铬层的表面溅射铬膜层，在铬膜层的表面溅射三氧化二铬层，然后，采用电子束光刻在铬膜层加工纳米尺度的织构阵列；(2)刀具前处理；(3)光刻图形转印：光刻胶均匀的涂在刀具前刀面的刀-屑接触区，对光刻胶进行曝光，用显影液对光刻胶进行溶解，在光刻胶上形成纳米尺度的织构阵列图形；(4)等离子体刻蚀：采用等离子体刻蚀，在刀具上刻蚀形成纳米尺度的织构阵列。纳米尺度的织构阵列减小了切削过程中的刀-屑接触长度，进而降低了切削力和切削温度，减少切屑的粘结，提高刀具的抗粘结性能，延长刀具的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 织构化 刀具 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
等离子体织构化刀具，刀具的基体材料为硬质合金，其特征在于：刀具前刀面的刀‑屑接触区采用等离子体刻蚀方法刻蚀形成纳米尺度的织构阵列。
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