[发明专利]声波装置有效
| 申请号： | 201511008903.5 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105915195B | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黑柳琢真 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种声波装置包括：支承基板；压电基板，其结合到所述支承基板；第一声波元件，其形成在所述压电基板上；框架，其形成在所述支承基板上，以围绕所述第一声波元件；以及基板，其形成在所述框架上，使得在所述压电基板上方形成暴露了所述第一声波元件的腔体，其中，所述压电基板的表面方向上的第一方向上的所述支承基板和所述基板之间的线性膨胀系数差异小于所述第一方向上的所述支承基板和所述压电基板之间的线性膨胀系数差异，所述压电基板在形成所述第一声波元件的区域中保留下来并且在形成所述框架的区域中被去除。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 装置 | ||
【主权项】：
1.一种声波装置，所述声波装置包括：支承基板；压电基板，其结合到所述支承基板；第一声波元件，其形成在所述压电基板上；框架，其形成在所述支承基板上，以围绕所述第一声波元件；以及基板，其形成在所述框架上，使得在所述压电基板上方形成暴露所述第一声波元件的腔体，其中，所述压电基板的表面方向上的第一方向上的所述支承基板和所述基板之间的线性膨胀系数差异小于所述第一方向上的所述支承基板和所述压电基板之间的线性膨胀系数差异，所述压电基板在形成所述第一声波元件的区域中保留下来，不位于形成所述框架的区域中，并且不位于除了形成所述框架的所述区域以外的至少一些区域中，并且所述框架由于所述压电基板不位于的所述至少一些区域不与所述压电基板接触。
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