[发明专利]面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法在审
| 申请号： | 201511009094.X | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN105606012A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 赵清亮;符兴宇;郭兵;饶志敏;潘永成;杨冰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法，属于光学曲面测量技术领域。本发明是为了解决传统的误差分离测量方法采样间隔大，并不适用于表面起伏较大的光学镜面的问题。它通过直线滑台和位移传感器实现，使直线滑台在Z轴导轨方向的位置固定，使安装于机床主轴上的光学曲面沿X轴导轨的方向移动，在光学曲面的移动过程中，通过位移传感器沿X轴导轨方向测量光学曲面面形；将测得的N个光学曲面面形测量数据采用误差分离方法进行分离，获得光学曲面的真实面形误差与机床的直线度误差。本发明用于面形起伏较大的光学曲面在位测量。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 精密 机床 单测头 光学 曲面 在位 测量方法 | ||
【主权项】：
一种面向精密超精密机床的单测头光学曲面在位测量方法，它通过直线滑台(1)和位移传感器(2)实现，其特征在于，将直线滑台(1)安装在精密或超精密机床的Z轴导轨(3)上，并使直线滑台(1)能够沿平行于X轴导轨的方向移动，所述Z轴导轨(3)与机床主轴的轴向平行，X轴导轨的方向为水平面内与Z轴导轨(3)相垂直的方向；位移传感器(2)安装在直线滑台(1)上，位移传感器(2)的测量方向平行于Z轴导轨(3)方向；测量过程为：使直线滑台(1)在Z轴导轨(3)方向的位置固定，使安装于机床主轴上的光学曲面沿X轴导轨的方向移动，在光学曲面的移动过程中，通过位移传感器(2)沿X轴导轨方向测量光学曲面面形；重复N‑1次上述测量过程，每一次测量前，使直线滑台(1)沿X轴导轨的方向移动预定位移，所述预定位移为微米至毫米量级，使位移传感器(2)每一次测量的起点与终点相同，并且每一次光学曲面的移动速度及位移传感器(2)的采样频率均相同，最终获得N个光学曲面面形测量数据；N为大于1的自然数；将测得的N个光学曲面面形测量数据采用误差分离方法进行分离，获得光学曲面的真实面形误差与机床的直线度误差。
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