[发明专利]一种真空镀膜冷却装置

摘要

本发明涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种真空镀膜冷却装置。该真空镀膜冷却装置，包括壳体，壳体上下分别设有法兰；所述壳体内壁上设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设在壳体外壁的溅射电源相连；所述冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述溅射电源等通过PCL控制器控制。本发明为镀膜区域提供良好的温度环境，其膜芯温度在‑10℃～80℃范围内可控；本发明冷却机构与膜芯充分接触，利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯结构的损伤，从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。

主权项

1.一种真空镀膜冷却装置，其特征在于：包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述溅射电源通过PCL控制器控制； 所述阴极靶表面为弧面，冷却装置为圆柱形冷却辊； 所述壳体内连接有密封室，密封室通过法兰固定连接有冷却辊；所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道，进水道与设在壳体外的进水孔相连，出水道与设在壳体外的出水孔相连；所述冷却辊内部设有中空的中轴，该中轴内设有输水管；所述输水管一端通过进水道与进水口相连，输水管另一端与进水管相连；所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连，冷却管道另一端连接有回水管；所述回水管与中轴连接，该中轴通过出水道与出水孔相连。