[发明专利]一种泡沫金属的高速真空镀膜设备及工艺在审
| 申请号： | 201511013559.9 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105441886A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李伟;王乃用;刘俊林;苏衍宪;李常兴;孟国强;邢寻勇;钱亚杰;韩珅;田利 | 申请（专利权）人： | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 274000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种泡沫金属的高速真空镀膜设备及工艺。该泡沫金属的高速真空镀膜设备及工艺，包括相互对称的上卷绕室和下卷绕室，上卷绕室和下卷绕室中间设有镀膜室；所述上卷绕室和下卷绕室内设有卷辊；所述卷辊通过电机带动；所述镀膜室包括壳体，壳体上下分别设有法兰；所述壳体内壁上设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述电机、溅射电源等通过PCL控制器控制。本发明采用多靶极，短间距溅射，模芯接触式直接冷却的方案，实现模芯在真空环境下高速镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 泡沫 金属 高速 真空镀膜 设备 工艺 | ||
【主权项】：
一种泡沫金属的高速真空镀膜设备，其特征在于：包括相互对称的上卷绕室和下卷绕室，上卷绕室和下卷绕室中间设有镀膜室；所述上卷绕室和下卷绕室内设有卷辊；所述卷辊通过电机带动；所述镀膜室包括壳体，壳体上下分别设有法兰；所述壳体内壁上设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述电机、溅射电源等通过PCL控制器控制。
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