[发明专利]耐高温防护涂层及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种耐高温防护涂层及其制备方法与应用。所述耐高温防护涂层包括TiN过渡层以及形成于TiN过渡层上的AlTiN涂层；并且在所述AlTiN涂层中，0.672，采用电弧离子镀技术在基体表面沉积TiN过渡层；同时以Al靶和Al₆₇Ti₃₃靶为靶材，采用电弧离子镀技术在TiN过渡层上继续沉积AlTiN涂层。本发明中AlTiN涂层铝含量高且Al/Ti比例可调，抗氧化温度可达到900℃，具有优良的耐高温氧化性能及防腐蚀性能，从而有效提高了AlTiN涂层与高速切削刀具及钛合金零部件的综合性能及使用寿命。

主权项

1.一种耐高温防护涂层的制备方法，其特征在于包括：(1)靶材选用Ti靶，工作气氛为N₂，采用电弧离子镀技术在基体表面沉积TiN过渡层，其中采用的沉积条件满足：反应室基底的真空度为3×10^‑3～6×10^‑3Pa，N₂流量为350～450sccm，工作真空度为0.2～0.5Pa，沉积偏压为‑20～‑80V，Ti靶弧电流为55～75A，沉积温度保持为400～500℃，沉积时间为10～15分钟；(2)同时以Al靶和Al₆₇Ti₃₃靶为靶材，采用电弧离子镀技术在所述TiN过渡层上继续沉积AlTiN涂层，其中采用的沉积条件满足：工作气氛为N₂，流量为650～850sccm，工作真空度为0.4～0.8Pa，沉积偏压为‑20～‑80V，AlTi靶弧电流为55～75A，Al靶弧电流为30～50A，沉积温度保持为400～500℃，沉积时间为30～150分钟，从而形成耐高温防护涂层；所述耐高温防护涂层包括TiN过渡层以及形成于TiN过渡层上的AlTiN涂层，在所述AlTiN涂层中0.67<Al原子数量/(Ti原子数量+Al原子数量)<0.9。