[发明专利]一种镀膜机行星盘装卸夹具有效
| 申请号： | 201511017664.X | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN106929815B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 谷勇强;时光;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学镀膜技术领域，具体公开一种镀膜机行星盘装卸夹具。本发明的镀膜机行星盘装卸夹具包括相互连接的行星盘托盘和框架组件；行星盘托盘为中心开设有台阶孔的方盘，台阶孔用于放置行星盘，台阶孔的直径大于行星盘的直径；框架组件用于对行星盘托盘进行支撑，并用于对行星盘进行定位。本发明提供的镀膜机行星盘装卸夹具，能够在对行星盘进行装卸时代替人力，保证行星盘安装、拆卸的快捷和元件的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 行星 装卸 夹具 | ||
【主权项】：
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