[发明专利]一种香豆素基磺酸酯类光致产酸剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201511018166.7 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105607417A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李治全;朱桂刚;刘敬成;刘仁;穆启道;刘晓亚 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞红电子化学品有限公司;江南大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07D311/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215128 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种香豆素基磺酸酯类的光致产酸剂(光产酸)及其制备方法，所述光产酸由含有羟基的香豆素类化合物与磺酰氯进行酯化反应，得到本发明的光产酸。本发明光产酸在一定的紫外光下可以产生酸性物质。使用本发明光产酸制成的光刻胶能够在紫外光下显影，具有活性好，精度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 香豆素基磺酸酯类光致产酸剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种香豆素基磺酸酯类光致产酸剂，其特征在于所述光致产酸剂具有如下分子结构通式：![]()
其中，R1为氢原子、C1～C8的脂肪烃基、C1～C8的烷氧基中的一种；R2为氢原子、C1～C6的脂肪烃基、C1～C6的烷氧基、‑CF3、‑C4F9中的一种；磺酸酯基团位于香豆素的3或4位。
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