[发明专利]一种大型直板式钛升华泵结构

摘要

本发明属于真空技术领域，具体涉及一种大型高抽速直板式钛升华泵的结构。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板，冷却水接头从大法兰中穿过，为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水；在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极，分别为吸附腔体中的6根钛丝供电；(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝，每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠；每个配重坠包括铜柱，设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩，包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管。

主权项

1.一种大型直板式钛升华泵结构，其特征在于：针对中性束注入器工作气体氢气或氘气，采用大电流加热升华钛丝形成钛膜，对氢气和氘气起到吸附作用；包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；根据泵体空间调整侧吸附板和背吸附板的尺寸及块数，通过侧吸附板和背吸附板将泵体分为N‑1个U形的吸附腔体，在吸附腔体中设置钛丝；在侧吸附板两面均设置角度为30度的V形凹槽并铺满整面，在背吸附板面向钛丝的一面设置角度为30度的V形凹槽并铺满整面；在侧吸附板和背吸附板的中间设置直径为6mm的蛇形不锈钢冷却水管用以冷却水的循环流动；侧吸附板和背吸附板上设置的V形凹槽的深度为3mm；(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板，冷却水接头从大法兰中穿过，为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水；在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极，分别为吸附腔体中的6根钛丝供电；每个供电电极包括铜电极、可伐陶瓷、上端不锈钢焊接件、下端不锈钢焊接件、电极安装法兰和铜接头；上端不锈钢焊接件、下端不锈钢焊接件分别设置在可伐陶瓷的上端和下端；可伐陶瓷套设在铜电极上设定位置处；通过上端不锈钢焊接件将可伐陶瓷与铜电极焊接在一起，通过下端不锈钢焊接件将可伐陶瓷与电极安装法兰焊接在一起；再通过电极安装法兰将铜电极、可伐陶瓷与大法兰固定连接；电极安装法兰的内径大于铜电极的外径；铜电极穿过电极安装法兰和大法兰，在铜电极底端设置铜接头；(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝，每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠；每个配重坠包括铜柱，设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩，包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管；在底托板上设置导向底座，在导向底座上设置导向孔，配重坠穿过导向孔并在其中运动，从而限制钛丝的摆动范围；相邻的两个配重坠通过连接软线连接。