[发明专利]一种硅片分片机构在审
申请号: | 201511019396.5 | 申请日: | 2015-12-31 |
公开(公告)号: | CN105460612A | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 邱文良 | 申请(专利权)人: | 苏州博阳能源设备有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 王华 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种硅片分片机构,包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述输送带的输送方向的前端设有滚轮。本发明采用抽气装置和输送带共同作用将堆垛的硅片分开,具有分片效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 分片 机构 | ||
【主权项】:
一种硅片分片机构,其特征在于:包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述输送带的输送方向的前端设有滚轮。
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