[发明专利]单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器

摘要

一种单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器，包括：衬底和沿着所述衬底外延方向依次制作的外延层，其中在所述外延层的部分区域从p型接触层向下刻蚀至p型盖层，形成一中间高、两边低的脊型波导结构，所述脊型波导中的p型接触层上形成有一隔离沟；TiAu电极制作于所述脊型波导上方，覆盖整个凸起的脊型波导，该TiAu电极在所述隔离沟处整体断开，分为两段电极。本发明的多段式FP激光器采用复合腔选模机制，无需光栅制作就可实现单纵模且波长可调谐的激光输出，降低了工艺的复杂性，同时保证了成品率和出光功率。

主权项

一种单纵模且波长可调谐的多段式法布里‑珀罗激光器，包括衬底和沿着所述衬底外延方向依次制作的外延层，其特征在于：在所述外延层的部分区域从p型盖层向下刻蚀至p型接触层下表面，形成一中间高、两边低的脊型波导结构，其中所述脊型波导中的p型接触层上形成有一隔离沟；TiAu电极，其制作于所述脊型波导上方，覆盖整个凸起脊型波导，所述TiAu电极在所述隔离沟处整体断开，分为两段电极；下电极，其制作于所述衬底下方。