[发明专利]光照射装置有效
| 申请号： | 201511020599.6 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105785490B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 松川泰之;川锅保文;石飞裕和;斋藤行正;山本胜;田中大作 | 申请（专利权）人： | 岩崎电气株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/22 | 分类号： | G02B5/22 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光照射装置，其采用具有入射角度依赖性的波长选择滤光器，以高精度地遮断照射区域不需要的波长的光。该光照射装置既具有使包含照射区域所需的波长的光透射的波长选择滤光器(33)，又具有用于吸收所需的波长的范围外的光的吸收滤光器(35)，将已透射波长选择滤光器(33)和吸收滤光器(35)的光照射到作为照射区域的工件(W)。 | ||
| 搜索关键词： | 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光照射装置，具有放射包含照射区域所需的波长的光的光源、以及使包含所述所需的波长的光透射的波长选择滤光器，并且将来自所述光源的光经由所述波长选择滤光器而照射到所述照射区域，其特征在于，所述光照射装置具有用于吸收所述所需的波长的范围外的光的、使光吸收物质分散而形成的吸收滤光器，将所述光源收纳于箱体，设于所述箱体的照射开口由从所述光源侧按照波长选择滤光器、以及所述吸收滤光器依此层叠配置的罩单元覆盖，在罩单元内配置有衬垫，该衬垫被夹持在所述波长选择滤光器与所述吸收滤光器之间而在两个滤光器之间确保间隙，所述衬垫是具有遮光性和柔性的部件，且设置在如下的位置：即，将透射过所述波长选择滤光器和所述吸收滤光器的所述光源的光照射到所述照射区域，且同时将不透射所述波长选择滤光器而从所述波长选择滤光器的周围漏出的所述光源的光遮光成无法照射到所述吸收滤光器。
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