[发明专利]半导体泵浦碱金属蒸气激光器的诊断装置及方法有效
| 申请号： | 201511021345.6 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106932318B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李志永;谭荣清;黄伟;郑义军;李辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01N15/04 | 分类号： | G01N15/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种半导体泵浦碱金属蒸气激光器的诊断装置及方法，该诊断装置的光源子系统产生两路波长λ |
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| 搜索关键词： | 半导体 碱金属 蒸气 激光器 诊断 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体泵浦碱金属蒸气激光器的诊断装置，特征在于，该诊断装置包括光源子系统、光路子系统和信号采集处理子系统；其中，光源子系统产生探测光和参考光，二者均为两路波长λ1与λ2相近但烷烃类气体对其吸收系数相差较大的激光的合束光；光路子系统包括探测光路子系统和参考光路子系统，其中，探测光经探测光路子系统被烷烃类气体部分吸收；信号采集处理子系统接收光路子系统的探测光和参考光，经光电转换、信号采集和处理得到烷烃类气体的浓度变化，并基于烷烃类气体的浓度变化得到半导体碱金属蒸气激光器的碳粒沉积速度。
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