[发明专利]一种氧化镓薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201511021600.7 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105624782A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王晓峰;李丽娟;霍自强;王军喜;李晋闽;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B25/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化镓薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1，将镓源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤3，打开镓源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应管，反应舟的出口正对衬底表面；步骤4，打开氧源气路，让惰性气体携带氧源进入石英反应管；步骤5，加热石英反应管；加热石英反应管内的反应舟和衬底；步骤6，调节反应舟和衬底的工作温度，设定生长时间，在衬底上沉积氧化镓薄膜，完成制备。利用本发明的方法，可以采用工业原料镓和碘作为原材料，选用商品化的蓝宝石和硅作为衬底，在常压条件下制备氧化镓薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化镓薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，将镓源放入反应舟内，反应舟放入石英反应管内；步骤2，将清洗、吹干后的衬底放在衬底托上，放入石英反应管内；步骤3，打开镓源气路，让惰性气体通过反应舟进入石英反应管，反应舟的出口正对衬底表面；步骤4，打开氧源气路，让惰性气体携带氧源进入石英反应管；步骤5，加热石英反应管；加热石英反应管内的反应舟和衬底；步骤6，调节反应舟和衬底的工作温度，设定生长时间，在衬底上沉积氧化镓薄膜，完成制备。
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