[发明专利]一种减振系统及其调节方法

摘要

本发明公开了一种减振系统及其调节方法，该减振系统包括减振器组件、水平度检测组件、水平度调整组件和控制系统，所述减振器组件包括固定件和安装于所述固定件上的浮动件，所述水平度检测组件设在所述浮动件中，所述水平度调整组件设于所述浮动件和固定件之间，所述控制系统分别连接所述水平度检测组件和水平度调整组件。本发明通过水平度检测组件和控制系统得到减振器组件的水平度变化量，并通过水平度调整组件进行实时调整，不仅降低了因制造、装配影响造成的减振器组件初装难度，而且保证了减振器组件在工作过程中的水平度的稳定性，进而实现物镜空间像的位置稳定性，减少运动台的测量调整时间，大大提高了产率和工作效率。

主权项

1.一种减振系统，连接在光刻机的内部框架与外部框架之间，其特征在于，所述减振系统包括减振器组件、水平度检测组件、水平度调整组件和控制系统，所述减振器组件包括固定件和安装于所述固定件上的浮动件，所述固定件安装在所述外部框架上，所述内部框架安装在所述浮动件上，所述水平度检测组件设在所述浮动件中，所述水平度调整组件设于所述浮动件与所述固定件之间，所述控制系统分别连接所述水平度检测组件和水平度调整组件；所述水平度检测组件包括由下至上依次分布的照明系统、液体系统和光感系统，所述照明系统发射的照明光源透过所述液体系统后均匀照射到所述光感系统上，所述液体系统内充满液体，所述液体内设有不透明气泡，所述不透明气泡的初始位置与所述光感系统在XY平面的中心位置相对应，所述光感系统与所述控制系统连接，将接收的所述照明光源的光强转换为电压值发送给所述控制系统。