[发明专利]控制DC电源的方法

摘要

一种控制DC电源的方法，以改变施加到用于操纵带电粒子的部件的DC偏移电压。该方法包括，当AC电压波形正在被施加到部件时：控制DC电源来产生经由链路被施加到所述部件的初始的DC偏移电压，所述链路使得所述部件处的所述DC偏移电压落后于当所述DC电源产生的所述DC偏移电压被改变时的所述DC电源产生的所述DC偏移电压；然后控制所述DC电源产生过驱动DC偏移电压，所述过驱动DC偏移电压经由所述链路被施加到所述部件达预定时段；然后控制所述DC电源产生目标DC偏移电压，所述目标DC偏移电压经由所述链路被施加到所述部件，其中所述目标DC偏移电压在所述初始的DC偏移电压和所述过驱动DC偏移电压之间。

主权项

1.一种控制多个DC电源的方法，以改变被施加到用于操纵带电粒子的多个部件中的每个部件的各自的DC偏移电压，其特征在于，每个DC电源分别对应各自的部件，并且所述方法包括，当相同的AC电压波形正在被施加到每个部件时：分别为每个DC电源：控制DC电源来产生经由链路被施加到与所述DC电源对应的所述部件的初始的DC偏移电压，当所述DC电源产生的所述DC偏移电压被改变时，所述链路使得所述部件处的所述DC偏移电压落后于所述DC电源产生的所述DC偏移电压；然后控制所述DC电源产生过驱动DC偏移电压，所述过驱动DC偏移电压经由所述链路被施加到与所述DC电源对应的所述部件持续预定时段；然后，预定时段经过后，控制所述DC电源产生目标DC偏移电压，所述目标DC偏移电压经由所述链路被施加到与所述DC电源对应的所述部件，其中所述目标DC偏移电压在所述初始的DC偏移电压和所述过驱动DC偏移电压之间；其中，所述方法包括，分别为每个DC电源：选择所述过驱动DC偏移电压，以致与所述DC电源对应的所述部件处的所述DC偏移电压处于预定时段结束时的所述目标DC偏移电压的预定阈值，或者在预定时段结束时的所述目标DC偏移电压的预定阈值之内；其中，所述多个部件中的每个部件处的DC偏移电压在相同的预定时段结束时达到各自的目标DC偏移电压。