[发明专利]一种导电布及其专用生产设备和生产方法

摘要

本发明公开了一种导电布及其专用生产设备和生产方法，包括镀膜腔室、压强控制系统、温控系统、离子表面处理装置以及真空抽气系统；镀膜腔室的其中两端分别设置有放卷装置和收卷装置，放卷装置和收卷装置之间设置有多排磁控溅射靶，相邻排磁控溅射靶之间形成镀膜通道，相邻两排镀膜通道之间设置有冷却辊，放卷装置出来的导电布通过各镀膜通道以及绕过各冷却辊后由收卷装置进行收卷，离子表面处理装置设置放卷装置出来的镀膜通道前端两侧。另外本发明在对导电布基材进行镀膜之前进行温度不断升高的热处理，保证镀膜质量，解决导电布基材如玻璃纤维布沉积金属导电层难度大的问题，在镀膜后中不产生废气、废水和废物，避免了生产导电布对环境的污染。

主权项

1.一种导电布的专用生产设备，包括镀膜腔室，其特征在于，还包括用于向镀膜腔室内充入气体的气体压强控制系统、用于控制镀膜腔室内温度的温控系统、用于为镀膜腔室提供阳极层型离子源的离子表面处理装置以及控制镀膜腔室内真空度的真空抽气系统；镀膜腔室的其中两端分别设置有放卷装置和收卷装置，其中放卷装置和收卷装置之间设置有多排磁控溅射靶，相邻排磁控溅射靶之间形成镀膜通道，相邻两排镀膜通道之间设置有冷却辊，放卷装置出来的导电布基材通过各镀膜通道以及绕过各冷却辊后由收卷装置进行收卷，离子表面处理装置设置在放卷装置出来的镀膜通道前端的两侧，向经过镀膜通道的导电布基材提供阳极层型离子源；离子表面处理装置包括外阴极、内阴极、磁铁、阳极和气体通道；其中外阴极为顶部开有口的方形结构，外阴极顶部开口处设置有内部阴极，在外阴极内底部与内阴极底部之间设置有磁铁，阳极设置于外阴极、内阴极和磁铁围成的空间中，气体通道设置在外阴极底部，气体通过外阴极底部进入到外阴极、内阴极和磁铁围成的空间中；所述放卷装置包括放卷筒和第一引导辊，放卷装置出来的导电布基材通过第一引导辊后传入到镀膜通道中，所述第一引导辊的个数为一个或多个。