[发明专利]PERC太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开一种PERC太阳能电池及其制备方法，其中PERC太阳能电池包括硅片、位于硅片上表面的二氧化硅层和银层、位于二氧化硅层上表面的正面氮化硅钝化层、位于硅片下表面的氧化铝钝化层、位于氧化铝钝化层下表面的背面氮化硅钝化层，在背面氮化硅钝化层上间隔开设有若干个开孔，在开孔中填充有腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金的铝层。本发明在背面氮化硅钝化层上通过激光开孔方式开孔，孔的深度控制在打穿背面氮化硅钝化层而不打穿氧化铝钝化层，然后印刷铝浆，通过烧结工艺，铝浆腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金。本发明在正面氮化硅钝化层与硅片之间制备了二氧化硅层，能够有效的解决PERC太阳能电池电位诱导衰减问题。

主权项

一种PERC太阳能电池，其特征在于：包括硅片(1)、位于硅片(1)上表面的二氧化硅层(2)和银层(3)、位于二氧化硅层(2)上表面的正面氮化硅钝化层(4)、位于硅片(1)下表面的氧化铝钝化层(5)、位于氧化铝钝化层(5)下表面的背面氮化硅钝化层(6)，在背面氮化硅钝化层(6)上间隔开设有若干个开孔(7)，在开孔(7)中填充有腐蚀掉氧化铝钝化层(5)后与硅片(1)形成铝硅合金的铝层(8)。