[发明专利]高调制发光二极管及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201511023589.8 申请日: 2015-12-29
公开(公告)号: CN105655454A 公开(公告)日: 2016-06-08
发明(设计)人: 尹以安;郭德霄;范广涵 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: H01L33/04 分类号: H01L33/04;H01L33/22;H01L33/00;H01L27/15;H01L21/77
代理公司: 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 代理人: 顿海舟;王建良
地址: 510631 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种高调制的发光二极管及其制备方法。所述高调制发光晶体管包括发光二极管芯片,发光二极管芯片包括衬底、发光外延结构、集电极、基极及发射极,发光外延结构设于衬底之上,发光外延结构依次包括第一N型半导体层、第一P型半导体层、量子阱层、第二P型半导体层、第二N型半导体层及导电层,所述第一P型半导体层包括P型铝镓氮电子阻挡层、P型接触层及P型铟镓氮层,量子阱层为未掺杂的In0.2Ga0.8N/In0.05Ga0.95N/GaN量子阱层,集电极设于第一N型半导体层,基极设于P型接触层,发射极设于导电层。本发明提供的发光二极管具有高出光效率和高速调制的优点。
搜索关键词: 调制 发光二极管 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种高调制发光二极管,其特征在于,包括发光二极管芯片,所述发光二极管芯片包括衬底、发光外延结构、集电极、基极及发射极,所述发光外延结构包括依次叠设的第一N型半导体层、第一P型半导体层、量子阱层、第二P型半导体层、第二N型半导体层及导电层,所述第一N型半导体层叠设于所述衬底的外延生长面上,所述第一P型半导体层包括P型铝镓氮电子阻挡层、P型铟镓氮层及夹设于所述P型铝镓氮电子阻挡层和P型铟镓氮层之间的P型接触层,所述P型铝镓氮电子阻挡层叠设于所述第一N型半导体层上,所述量子阱层为未掺杂的In0.2Ga0.8N/In0.05Ga0.95N/GaN量子阱层,所述集电极设于所述第一N型半导体层,所述基极设于所述P型接触层,所述发射极设于所述导电层。
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