[发明专利]测量两激光干涉仪相交角度非正交性的方法有效
| 申请号： | 201511024102.8 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106933042B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 唐彩红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量两激光干涉仪相交角度非正交性的方法，包括：上载掩模版至掩模台上，所述掩模版上设置有若干标记组；工件台步进，使同轴对准传感器对准标记组中的第一个同轴对准标记，激光干涉仪记录当前工件台的位置；步骤3：移动工件台，使同轴对准传感器对准该标记组中的下一同轴对准标记，激光干涉仪记录当前工件台的位置，重复上述动作直至该标记组中的所有同轴对准标记对准完毕；步骤4：工件台步进至下一标记组，重复步骤2‑3；步骤5：根据激光干涉仪记录的数据和已知的标记组数据，计算两激光干涉仪相交角度非正交角度。本发明能够减小镜头畸变对测量结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 激光 干涉仪 相交 角度 正交 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量两激光干涉仪相交角度非正交性的方法，包括：步骤1：上载掩模版至掩模台上，所述掩模版上设置有若干标记组，所述标记组的数目与投影物镜中拼接镜头的数目相同，且每个标记组的中心与对应的拼接镜头中心重合；步骤2：工件台步进，使同轴对准传感器对准标记组中的第一个同轴对准标记，激光干涉仪记录当前工件台的位置；步骤3：移动工件台，使同轴对准传感器对准该标记组中的下一同轴对准标记，激光干涉仪记录当前工件台的位置，重复上述动作直至该标记组中的所有同轴对准标记对准完毕；步骤4：工件台步进至下一标记组，重复步骤2‑3；步骤5：根据激光干涉仪记录的数据和已知的标记组数据，选择相对于不同拼接镜头在同一位置处的同轴对准标记进行比较，计算两激光干涉仪相交角度非正交角度。
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