[发明专利]一种玻璃针状缺陷反射电镜样品的制作方法有效
| 申请号： | 201511024492.9 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105651582B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李志勇;张广涛;李俊锋;闫冬成;王丽红;胡恒广 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政;刘兵 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及玻璃领域，公开了一种玻璃针状缺陷反射电镜样品的制作方法，该方法包括：(1)将无缺陷玻璃置于侵蚀液中，得到侵蚀速度；(2)测量针状缺陷与缺陷玻璃表面的最小距离，得到侵蚀液将缺陷玻璃侵蚀至针状缺陷暴露所用的理论侵蚀时间；(3)将缺陷玻璃置于侵蚀液中进行侵蚀，控制侵蚀时间使得针状缺陷暴露于玻璃表面。本发明的方法，很好的解决了针状缺陷电镜样品难以制作的问题，快速，制样准确，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 针状 缺陷 射电 样品 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃针状缺陷反射电镜样品的制作方法，其特征在于，该方法包括：(1)将无缺陷玻璃置于侵蚀液中，侵蚀时间t0后测量侵蚀深度d0，得到侵蚀速度v0，其中，v0＝d0/t0；(2)确定缺陷玻璃中针状缺陷的大小和位置，测量针状缺陷与缺陷玻璃表面的最小距离D，根据步骤(1)得到的侵蚀速度v0，得到侵蚀液将缺陷玻璃侵蚀至针状缺陷暴露所用的理论侵蚀时间T，其中，T＝D/v0；(3)将缺陷玻璃置于侵蚀液中进行侵蚀，控制侵蚀时间使得针状缺陷暴露于玻璃表面；步骤(3)中，控制侵蚀时间使得针状缺陷暴露于玻璃表面的方法包括：(3‑1)将缺陷玻璃置于侵蚀液中进行侵蚀，实际侵蚀时间t小于步骤(2)所述的理论侵蚀时间T；(3‑2)重复步骤(2)‑(3‑1)进行至少一次侵蚀，直至侵蚀结束后针状缺陷与缺陷玻璃表面的最小距离D小于等于5μm，进行最后一次侵蚀，且控制最后一次侵蚀的侵蚀时间使得针状缺陷暴露于玻璃表面。
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