[发明专利]包括零注量区域的注量分布的照射方法和装置

摘要

本发明提供了一种包括零注量区域的注量分布图的照射方法和装置。该方法包括：将注量分布图分为基本形状的组合，此基本形状包括不能仅使用多叶准直器一次照射的形状，该形状包括由零注量区域隔开的非零注量的第一区域、第二区域以及连通第一区域和第二区域的非零注量的第三区域；对于该形状，先将多叶准直器中需要在第一区域照射的叶片对移至第一区域的第一初始照射位置，执行所述第一区域的照射，且在照射过程中，以与第一区域相邻侧的垂直钨门逐渐遮挡完成照射的叶片对，再将需要在第二区域照射的叶片对穿过零注量区域移动至第二区域的第二初始照射位置，执行第二区域的照射，且在照射过程中，将垂直钨门逐渐退出即将开始照射的叶片对。

主权项

1.一种包括零注量区域的注量分布图的照射方法，其中，所述零注量区域为在多叶准直器的叶片的移动方向上注量为零的区域，所述照射方法包括以下步骤：将所述包括零注量区域的注量分布图分为一个或多个基本形状的组合，所述基本形状为能够沿一个方向一次照射完成的注量分布图，且包括能够仅使用多叶准直器一次照射的第一类形状和不能够仅使用多叶准直器一次照射的第二类形状，该第二类形状包括由所述零注量区域隔开的非零注量的第一区域、第二区域以及连通所述第一区域和第二区域的非零注量的第三区域；对于第二类形状，执行如下照射步骤：将多叶准直器中需要在第一区域照射的第一组相关叶片对移至所述第一区域的第一初始照射位置；执行所述第一区域的照射，且在所述第一区域的照射过程中，以与所述第一区域相邻侧的垂直钨门逐渐遮挡住完成照射的叶片对；将需要在所述第二区域照射的第二组相关叶片对穿过所述零注量区域移动至所述第二区域的第二初始照射位置；执行第二区域的照射，且在所述第二区域的照射过程中，将垂直钨门逐渐退出即将开始照射的叶片对；其中，在执行对所述第一区域和所述第二区域的照射过程中对所述第三区域执行连续照射，所述连续照射不经过垂直钨门的遮挡而令与所述第三区域相关的叶片从所述第三区域的初始照射位置连续移动到终止照射位置。